发明名称 |
Native NMOS低压触发的用于ESD保护的SCR器件 |
摘要 |
本发明创造涉及一种Native NMOS低压触发的用于ESD保护的SCR器件。采用的技术方案是:包括P型衬底,P型衬底上设置N阱,在N阱上设有第一P+注入区和第一N+注入区,第一N+注入区临近N阱和P型衬底的交界处;在P型衬底上设有第二P+注入区和第二N+注入区,第二P+注入区临近N阱和P型衬底的交界处;第一P+注入区接阳极,第二N+注入区接阴极;Native NMOS源接第一N+注入区,Native NMOS漏接第二P+注入区,Native NMOS衬底接电路的Vss。本发明Native NMOS导通后,Native NMOS的导通电流充当SCR期间的触发电流,触发晶闸管SCR导通,晶闸管导通后,晶闸管电流导通大部分ESD 电流,从而实现了ESD保护。 |
申请公布号 |
CN103178105B |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
申请号 |
CN201310123051.9 |
申请日期 |
2013.04.10 |
申请人 |
辽宁大学 |
发明人 |
蔡小五;刘兴辉;魏俊秀;梁超;闫明;吕川;高哲;郭红梅 |
分类号 |
H01L29/74(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/74(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳杰克知识产权代理有限公司 21207 |
代理人 |
金春华 |
主权项 |
Native NMOS低压触发的用于ESD保护的SCR器件,包括P型衬底(6),P型衬底(6)上设置N阱(5),其特征在于:在N阱(5)上设有第一P+注入区(1)和第一N+注入区(2),第一N+注入区(2)临近N阱(5)和P型衬底(6)的交界处;在P型衬底(6)上设有第二P+注入区(3)和第二N+注入区(4),第二P+注入区(3)临近N阱(5)和P型衬底(6)的交界处;第一P+注入区(1)接阳极,第二N+注入区(4)接阴极;Native NMOS(30)源接第一N+注入区(2),Native NMOS(30)漏接第二P+注入区(3),Native NMOS(30)衬底接电路的Vss;所述的Native NMOS的结构是在p型衬底上直接设置两个N+注入区,此Native NMOS管子不需要Pwell,其开启电压为负值。 |
地址 |
110136 辽宁省沈阳市沈北新区道义南大街58号 |