| 发明名称 | 利用具有绝缘层的薄膜谐振器探测物质的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及利用具有绝缘层的薄膜谐振器探测物质的装置和方法。用于探测流体的至少一种物质的装置包括具有至少一个压电层、设置在压电层处的电极层、至少一个设置在压电层处的其他电极层的压电声学薄膜谐振器和至少一个用于积聚流体的物质的积聚面，其中压电层、电极层和积聚面被设计和彼此设置，使得通过电极层的电触发可以将激励交变场耦合输入到压电层中，薄膜谐振器由于耦合输入到压电层中的激励交变场可以以谐振频率f<sub>R</sub>被激励成谐振振荡并且谐振频率f<sub>R</sub>取决于在积聚面处所积聚的物质的量。该装置的特征在于，直接在电极层的至少一个的背离压电层的侧上设置至少一个用于电绝缘电极层的电绝缘层。 | ||
| 申请公布号 | CN104764802A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201510137979.1 | 申请日期 | 2009.09.29 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | T.胡贝尔;M.尼尔施尔;D.皮策尔;M.施雷特 |
| 分类号 | G01N29/02(2006.01)I;G01N29/036(2006.01)I | 主分类号 | G01N29/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 臧永杰;刘春元 |
| 主权项 | 用于探测流体(2)的至少一种物质的装置(1)，包括压电声学薄膜谐振器(10)，具有‑至少一个压电层(11)，‑设置在压电层(11)处的电极层(12)，‑至少一个设置在压电层(11)处的其他电极层(13)，以及‑至少一个用于积聚流体(2)的物质的积聚面(3)，其中，‑压电层(11)、电极层(12、13)和积聚面(3)被设计和彼此设置，使得‑通过电极层(12、13)的电触发可以将激励交变场耦合输入到压电层(11)中，‑薄膜谐振器(10)由于耦合输入到压电层(11)中的激励交变场可以以谐振频率f<sub>R</sub>被激励成谐振振荡，以及‑谐振频率f<sub>R</sub>取决于在积聚面(3)处所积聚的物质的量，其特征在于，直接在电极层的至少一个的背离压电层的侧(121)上设置至少一个用于电绝缘电极层的电绝缘层(4)。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||