基板处理装置的控制装置、基板处理装置及显示控制装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置的控制装置、基板处理装置以及显示控制装置。该控制装置(5)具有：按照功能地执行与CMP装置有关的处理用的多个处理模块(界面系统APSW(510)、控制系统APSW(520))；以及对多个处理模块所用的信息进行存储的共有存储器(540)。多个处理模块包含任务监视模块(530)，该任务监视模块对多个处理模块是否产生异常进行监视。任务监视模块(530)在多个处理模块中的某一个产生异常时，使产生异常的处理模块再起动，使其它处理模块的处理继续。采用本发明，可高效执行基板处理装置的多个功能。

主权项

一种基板处理装置的控制装置，其特征在于，具有：多个处理模块，所述多个处理模块用于按照功能地执行与基板处理装置有关的处理；以及存储装置，该存储装置对所述多个处理模块所用的信息进行存储，所述多个处理模块包含监视模块，该监视模块对所述多个处理模块是否产生异常进行监视，所述监视模块在所述多个处理模块的某一个处理模块产生异常时，使产生异常的处理模块再起动，使其它处理模块的处理继续。