一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器

摘要

本发明公开了一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器，包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒，圆环形薄壁筒设置在弹性敏感元件的上表面，弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜，弹性敏感元件、密封盖和圆环薄壁筒构成密封腔体，密封腔体内设置有溅射金属薄膜和转接板，信号导线从圆环形薄壁筒的侧壁穿入密封腔体内，金丝引线将信号导线的信号引出线和溅射金属薄膜连接在一起。本发明提高传感器的可靠性，压力敏感圆膜的机械加工易于批量加工，批量制作压力敏感元件，缩短生产周期，降低加工成本，提高生产效率，解决了密封胶长期工作在水中可能出现的渗漏和脱落，使得密封牢固可靠。

主权项

一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器，其特征在于：包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒，所述圆环形薄壁筒设置在所述弹性敏感元件的上表面，所述弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜，所述弹性敏感元件、所述密封盖和所述圆环薄壁筒构成密封腔体，所述密封腔体内设置有溅射金属薄膜和转接板，所述溅射金属薄膜位于所述弹性敏感元件的上表面，所述转接板位于所述溅射金属薄膜的上方，所述信号导线从所述圆环形薄壁筒的侧壁穿入所述密封腔体内，所述金丝引线的一端和所述信号导线的信号引出线一起焊接在所述转接板上，所述金丝引线的另一端焊接在所述溅射金属薄膜上。