| 摘要 |
<p>고 종횡의 도체 패턴을 가진 코일 부품을 제작한다. 코일 소자를 제조하는 방법으로, 수지 기판의 기판 표면에 홈부를 형성하는 단계와 금속 피막을 형성하는 단계와 코일 소자 패턴의 반전 패턴인 레지스트 패턴을 희망하는 두께 T가 되도록 홈부를 사이에 두고 기판 표면에 형성하는 단계와 레지스트 패턴을 마스크로, 제 1의 전기 주조에 의해 코일 소자의 중심도체막을 희망하는 두께 T 이하의 높이가 되도록 홈부를 포함한 기판 표면에 형성하는 단계와 레지스트 패턴과 노출한 금속 피막을 제거하는 단계와 중심도체막을 기초로서 제 2의 전기 주조에 의해 표면도체막을 형성해, 중심도체막과 표면도체막으로 이루어진 코일 소자를 형성하는 단계와 코일 소자를 수지 기판으로부터 박리하는 단계와 박리된 코일 소자의 중심도체막 내부, 홈부내에 형성된 부분을 역전계 에칭에 의해 제거하는 단계를 가지는 것을 특징으로 한다.</p> |
