| 发明名称 |
LAMINATED MATERIALS, METHODS AND APPARATUS FOR MAKING SAME, AND USES THEREOF |
| 摘要 |
<p>예를 들면 니트라이드와 같은 재료를 생성하기 위한 PVD 방법 및 장치 개시되며, 이 같은 재료가 전극 재료이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150079749(A) |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
| 申请号 |
KR20157013533 |
申请日期 |
2013.10.16 |
| 申请人 |
NITRIDE SOLUTIONS INC. |
发明人 |
BRORS DANIEL;CLARK RICHARD;DEMARAY RICHARD;SLUTZ DAVID |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;C23C14/56;H01J27/16;H01J37/06;H01J37/08;H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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