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<p>본 발명의 습,건식 복합 마스크 세정장치는 OLED 증착용 마스크를 세정하는 장치에 있어서, 플라즈마, 극자외선(EUV/DUV),자외선(UV), 중 어느 하나를 사용하여 세정하는 건식형 세정 장치와, OLED 증착용 마스크 전체 또는 일부가 침지될 수 있도록 구성되며 세정액이 담긴 다수개의 침전 배스와, 침전 배스에서 OLED 증착용 마스크를 이송하여 건조시키는 건조장치로 이루어지되, 건식형 세정 장치와 침전 배스 및 건조장치의 배열 순서는 선택적으로 이루어지며, OLED 증착용 마스크가 건식형 세정 장치, 침전 배스 및 건조장치를 통과하여 건식 세정과 습식 세정의 방식을 동시에 적용하도록 하여, 건식 플라즈마 세정을 통해 유기증착물질세정 처리를 수행하도록 하는 유용한 효과가 있으며, 건식 세정으로 대부분의 유기 증착 물질을 세정하고 남은 유기 증착 물질은 세정액에 침전하는 방식을 취하여 화학적 반응을 일으키는 세정액의 양을 최소화할 수 있으며, 마스크를 세정하기 위해 소요되는 공정 시간을 줄여 생산성을 향상시키며, 기존방식인 세정액과 초음파, 전해세정을 이용한 방법으로 완전하게 세정 효과를 기대하기 힘든 것을 개선하여 건식과 습식을 복합적으로 이용하여 완전한 마스크 세정 장치를 제공한다.</p> |
