| 摘要 |
<p>레이저 소스(3), 및 레이저 빔의 제 1 부분(11)을 반사하고 제 2 부분(13)을 투과시키는 빔 스플리터(9)와 제 1 및 제 2 반사 수단(15, 17)을 포함하는 스페클을 감소시키기 위한 컴포넌트(7)를 포함하는 어셈블리(1)가 제공되고, 제 1 반사 수단(15)은 레이저 빔의 제 2 부분(13)을 수신하고, 제 2 반사 수단(17)은 상기 제 2 부분(13)을 빔 스플리터(9)에 되돌아가도록 지향시키고, 레이저 빔의 제 2 부분(13)은 제 1 반사 수단(15)으로부터 제 2 반사 수단(17)으로 지향될 수 있고, 제 1 반사 수단(15), 제 2 반사 수단(17) 및 빔 분리를 위한 수단(9)은 레이저 빔의 제 2 부분(13)의 광 경로를 정의하고, 광 경로의 길이는 레이저 빔의 코히어런스 길이와 동일하거나 그보다 크다.</p> |
