| 摘要 |
<p>펄스 레이저광(L)을 수광하여 수광 강도 데이터(I)를 출력하는 레이저 수광부(2)와, 수광 강도 데이터(I)로부터 복수 개의 펄스에 있어서의 평균 피크치와 평균 면적치를 적어도 항목치로서 포함하는 평균 파형 정보를 취득하고, 얻어진 복수의 평균 파형 정보에 대하여 각 항목치의 평균치와 편차와 최대치와 최소치를 적어도 항목치로서 포함하는 군 파형 정보를 취득하는 제어부(3)와, 군 파형 정보를 출력하는 조작부(10)를 구비한다. 가스 여기 펄스 레이저 발진기나 제1피크치 및 제2피크치를 가지는 펄스 파형에 한정되지 않고, 펄스 레이저광의 열화를 감시할 수 있다.</p> |
