发明名称 Zweischritt-Formmasse-Schleifen für Kapselungsanwendungen
摘要 Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung umfassen Halbleiter-Packages und Verfahren zu ihrer Ausbildung. Eine Ausführungsform besteht aus einem Verfahren, das das Befestigen eines Dies an einer oberen Fläche eines Substrats umfasst, um eine Vorrichtung auszubilden, das Kapseln des Dies und der oberen Fläche des Substrats in einer Formmasse, wobei die Formmasse eine erste Dicke über dem Die aufweist, und das Entfernen eines Teils, aber nicht der gesamten Dicke der Formmasse über dem Die. Das Verfahren umfasst weiter das Anwenden von weiterer Verarbeitung auf die Vorrichtung und das Entfernen der verbleibenden Dicke der Formmasse über dem Die.
申请公布号 DE102014119308(A1) 申请公布日期 2015.07.02
申请号 DE201410119308 申请日期 2014.12.21
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. 发明人 HUANG, WEN-CHUN;LI, CHIEN-CHEN;LIU, KUO-CHIO;SHIUE, RUEY-YUN;LIN, CHIH-HSIEN;LU, HSIANG-TAI;CHENG, HSI-KUEI;LIN, JING-CHENG;SHIEH, TZI-YI
分类号 H01L21/56;H01L21/60 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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