| 摘要 |
吸着装置、ガラス拭き取り装置、及びその走行制御方法。吸着装置は、吸着カップユニット（１）を備える。吸着カップユニット（１）は、内側吸着カップ（１１）及び外側吸着カップ（１２）を備える。内側吸着カップ（１１）が、外側吸着カップ（１２）の内側に配置される。内側吸着カップ（１１）の内側のチャンバが、真空吸引によって内側負圧チャンバ（１３）を形成する。内側吸着カップ及び外側吸着カップ（１１及び１２）の間のチャンバが、真空吸引によって外側負圧チャンバ（１４）を形成する。外側負圧チャンバ（１４）は、真空検出ユニットに接続されている。真空検出ユニットは、伸張性のピース（２０）と伸張検出片（２１）とを備えている。伸張性のピース（２０）が、外側負圧チャンバ（１４）の上端の開口に密着接続されている。伸張性のピース（２０）上に、伸張検出片（２１）が配置されている。 |
