热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻感测器

摘要

提供能够以非烧成方式于薄膜等上直接成膜，具有高耐热性且信赖性高之热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻感测器。一种使用于热敏电阻之金属氮化物材料，其系由一般式：(M1-wAw)xAlyNz(惟，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co之至少1种，而且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W之至少1种。0.0<w<1.0、0.70≦y/(x+y)≦0.98、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)所示之金属氮化物所构成，且其结晶结构，系六方晶系之纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料之制造方法，系具有使用M-A-Al合金溅镀靶，于含氮环境中进行反应性溅镀以成膜之成膜步骤。