静电式微扫描镜的驱动校正装置及其驱动校正方法

摘要

一种静电式微扫描镜的驱动校正装置及其驱动校正方法。驱动校正方法包括下列步骤。依序设定多个不同的参考电压以驱动静电式微扫描镜的一面镜摆动；感测激光束对应多个参考电压投射至投射表面的多个投射位置；依据这些参考电压与其对应的这些投射位置建立一驱动查找表；根据驱动查找表判断多个理想投射位置分别对应的校正驱动电压；以及，根据这些校正驱动电压来驱动面镜摆动。

主权项

一种静电式微扫描镜的驱动校正装置，该静电式微扫描镜包括一面镜，用以带动一激光束投射至一投射表面，该驱动校正装置包括：一电压设定单元，用以依序设定多个不同的参考电压以驱动该面镜摆动；一图像撷取单元，用以感测该激光束对应该多个参考电压投射至该投射表面的多个投射位置；以及一信息处理单元，用以依据该些参考电压与其对应的该投射位置建立一驱动查找表，并用以根据该驱动查找表判断多个理想投射位置分别对应的校正驱动电压，以供该电压设定单元根据该些校正驱动电压来驱动该面镜摆动。