一种超精密摩擦驱动机构

摘要

本实用新型公开了一种超精密摩擦驱动机构，该机构主要包括驱动部分，辅助支撑部分、施压部分和偏心施压部分，其中通过驱动部分提供稳定、精确的回转定位，力矩电机与摩擦驱动轴直接连接，减少中间传动环节带来的传动误差，圆光栅连接在驱动轴另一端，测量驱动轮转角精度，辅助支撑部分减小了从动杆末端的挠度变形，保证从动杆的位置精度，起到辅助支撑和微调定位的作用，其中压力簧片将偏心轮结构输出的位移转化成压紧力，并通过预压轮系将驱动轮系和摩擦导杆压紧，偏心施压部分可以为压力簧片提供准确的位移输出，能够方便的调整压紧力的大小，并通过安装在偏心轮从动部件上的压力传感器实时监测压紧力的变化，满足对压紧力可控性的要求。

主权项

一种超精密摩擦驱动机构，该机构主要包括驱动部分，辅助支撑部分、施压部分和偏心施压部分，其特征在于：所述驱动部分包括力矩电机（1），所述力矩电机（1）定子通过力矩电机座（2）与驱动机座（3）固装，力矩电机（1）转子通过电机法兰（5）连接摩擦驱动轴（4）的一端，所述摩擦驱动轴（4）安装在驱动机座（3）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系，摩擦驱动轴（4）的另一端与圆光栅（11）通过圆光栅法兰盘（12）相连接；所述辅助支撑部分包括辅助支撑轴（15），所述辅助支撑轴（15）安装在辅助机座（16）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系；所述施压部分包括施压轴（17），所述施压轴（17）安装在施压机座（19）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系，所述施压机座（18）上方还安装有用于传递预压力的施压簧片（19）；所述偏心施压部分包括偏心轴（20），所述偏心轴（20）通过驱动轴承（22）安装在偏心轴机座（21）上，所述偏心轴（20）由步进电机（23）通过蜗轮蜗杆减速器（24）连接并驱动，偏心轴（20）的径向上连接并驱动有垂直驱动轴（25），垂直驱动轴（25）滑动地设置在滑动轴套（26）内，并且下端与压力传感器（27）连接，压力传感器（27）的另一端与施压球头（28）固定，施压球头（28）压紧在所述施压簧片（19）上。