发明名称 一种半导体金属氧化物的原位合成方法
摘要 本发明提供了一种半导体金属氧化物的原位合成方法,包括:在基底上涂覆一层液态金属醇化物M(OR)<sub>y</sub>或其溶液或TiCl4,置于空气中10秒以上,形成水解层;再将其置于高温热台上,在高于400℃温度下,在空气中煅烧2分钟以上,即得到半导体金属氧化物,其中,M代表金属元素,R代表烷基单元,OR代表醇根阴离子;再通过30-60分钟的退火(退火温度400-500℃),即可以得到结晶性良好的半导体氧化物。相比于同体系的纳米颗粒材料,本发明制备的半导体金属氧化物结晶性更高,载流子迁移率更大。合成的材料非常有望在染料敏化太阳能电池、光解水制氢、光降解有机污染物及锂离子电池等领域得到广泛的应用。
申请公布号 CN104752188A 申请公布日期 2015.07.01
申请号 CN201310746845.0 申请日期 2013.12.30
申请人 北京大学 发明人 邹德春;傅永平;彭鸣;于潇;蔡欣;简蓉
分类号 H01L21/302(2006.01)I;C01G23/053(2006.01)I;C01G19/02(2006.01)I;C01G33/00(2006.01)I;C01B3/04(2006.01)I 主分类号 H01L21/302(2006.01)I
代理机构 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 代理人 余长江
主权项 一种半导体金属氧化物的原位合成方法,包括如下步骤:(1)在基底上涂覆一层液态金属醇化物M(OR)<sub>y</sub>或者金属醇化物M(OR)<sub>y</sub>溶液或者TiCl<sub>4</sub>,然后将所述基底置于空气中10秒以上形成水解层,其中,M代表金属元素,R代表烷基单元,OR代表醇根阴离子,y的取值范围是4‑5;(2)将步骤(1)中所述基底置于高温热台上,在高于400℃温度下,在空气中煅烧2分钟以上,即得到半导体金属氧化物;(3)将步骤(2)中所述的半导体金属氧化物在400‑500℃温度下,退火30~60min,即得到结晶性良好的半导体金属氧化物。
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