| 发明名称 |
批量式基板处理装置;BATCH TYPE APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE |
| 摘要 |
本发明之批量式基板处理装置，其为可以进行复数个基板的基板处理之批量式基板处理装置，其特征为包含：包含对于前述复数个基板提供基板处理空间的处理室之本体；及配置在前述处理室的整个外侧面上之复数个加热器单元(前述加热器单元包含各自隔着一定间隔配置之复数个单位加热器)。 |
| 申请公布号 |
TW201525396 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
| 申请号 |
TW103136613 |
申请日期 |
2014.10.23 |
| 申请人 |
特艾希米控公司 TERASEMICON CORPORATION |
发明人 |
朴暻完 PARK, KYOUNG WAN |
| 分类号 |
F27D11/00(2006.01);F27D5/00(2006.01);H01L21/324(2006.01) |
主分类号 |
F27D11/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群陈文郎 |
| 主权项 |
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| 地址 |
南韩 KR |
