形成溅射材料层的系统与方法;SYSTEMS AND METHODS FOR FORMING A LAYER OF SPUTTERED MATERIAL

摘要

本说明书描述一种涂覆基材(110)的方法，该方法包括下列步骤：在该基材(110)上形成溅射材料层(806)。形成该溅射材料层的步骤可包括下列步骤：从位在该基材(110)上方的至少一个靶材(120)溅射材料；改变该至少一个靶材(120)与该基材(110)之间的相对位置到第一位置(I)，其中该第一位置被维持长达预定的第一时间间隔；及改变该至少一个靶材与该基材之间的相对位置到第二位置(II)，其中该第二位置被维持长达预定的第二时间间隔。本说明书进一步描述一种用于涂覆基材的系统。; varying the relative position between the at least one target (120) and the substrate (110) to a first position (I), which first position is maintained for a predetermined first time interval; and varying the relative position between the at least one target and the substrate to a second position (II), which second position is maintained for a predetermined second time interval. The present disclosure further describes a system for coating a substrate.