盖板固定具及感应耦合电浆处理装置

主权项

一种感应耦合电浆处理装置之盖板固定具，系用于感应耦合电浆处理装置以固定盖板；该感应耦合电浆处理装置具备有：处理室，系具有构成天花板部份之窗构件，用以进行电浆处理；气体供给装置，系对该处理室供给气体；高频天线，系配置于该窗构件之上方，于该处理室内形成感应电场；支撑构件，系支撑该窗构件；以及盖板，系覆盖该窗构件下面；其特征在于：该盖板固定具系具备有支撑该盖板之支撑部、以及连接于该支撑部之基部；于该基部设有气体导入流路，而成为自该气体供给装置对该处理室供给气体之气体流路之一部份；于该气体导入流路系设有电浆遮断构件，以防止电浆从该处理室内进入该气体流路上游侧。