| 摘要 |
【課題】改質領域の加工深さの変化に対する自由度が高く、ウェーハの内部に改質領域を精度良く形成することが可能なレーザーダイシング装置及びダイシング方法を提供する。【解決手段】レーザーダイシング装置１０は、加工用レーザー光Ｌ１を出射するレーザー光源２１と、加工用レーザー光Ｌ１の光路と一部光路を共有するＡＦ用レーザー光Ｌ２を出射するＡＦ用光源３１と、第１及び第２レーザー光Ｌ１、Ｌ２の共有光路上に配置される集光レンズ２４と、ウェーハ表面で反射したＡＦ用レーザー光Ｌ２の反射光に基づいてフォーカス誤差信号を生成するＡＦ信号処理部４０と、フォーカス誤差信号に基づいて集光レンズ２４とウェーハ表面との距離が一定となるように集光レンズ２４をウェーハ厚み方向に移動させる制御部５０と、加工用レーザー光Ｌ１の集光点の位置を固定した状態でＡＦ用レーザー光Ｌ２の集光点の位置をウェーハ厚み方向に調整するフォーカスレンズ群３７と、を備える。【選択図】図４ |
