| 摘要 |
【課題】感光性樹脂組成物を用いて形成される樹脂膜の熱安定性を向上させる。【解決手段】感光性樹脂組成物は、永久膜を形成するために用いられる感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂と、有機溶剤と、を含み、１２０℃、３分の条件で前記有機溶剤を乾燥して樹脂膜ａを得た後、前記樹脂膜ａに対して窒素雰囲気下、３２０℃、３０分の条件で加熱処理を施して得られる樹脂膜ｂの、波長６３０ｎｍの光線に対する膜厚１１μｍ換算の光線透過率をＴ１（％）とし、前記樹脂膜ｂに対して窒素雰囲気下、３２０℃、５時間の条件で加熱処理を施して得られる樹脂膜ｃの、波長６３０ｎｍの光線に対する膜厚１１μｍ換算の光線透過率をＴ２（％）としたとき、（Ｔ１−Ｔ２）／Ｔ１?１００が３５％以下である。【選択図】図１ |
