一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及原子层沉积技术领域，具体涉及一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括如下步骤：向原子层沉积设备的反应腔室中交替通入含锌前驱体和含氧前驱体，形成ZnO原子层沉积薄膜；向所述反应腔室中依次通入所述含锌前驱体、含铝前驱体、含氧前驱体进行反应，形成Al掺杂层；重复上述步骤，得到AZO薄膜。本发明在沉积过程中引入更多的Al循环，并通过Al原子置换Zn原子，可以弥散分布于ZnO基体中，从而减少了改为AlO_x团簇的产生，使AZO薄膜的载流子迁移率与载流子密度都有所提高，最终降低其电阻率，从而提高AZO薄膜的电学性能。

主权项

一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1），向原子层沉积设备的反应腔室中通入含锌前驱体，与衬底发生化学吸附；步骤（2），向所述反应腔室中通入含氧前驱体，使所述衬底吸附的含锌前驱体与所述含氧前驱体发生反应，形成一层ZnO原子层沉积薄膜；步骤（3），循环所述步骤（1）和（2）n次，得到所需厚度的ZnO薄膜；步骤（4），向所述反应腔室中通入所述含锌前驱体，与所述ZnO薄膜发生化学吸附；步骤（5），向所述反应腔室中通入含铝前驱体，使所述含铝前驱体取代所述ZnO薄膜表面吸附的部分含锌前驱体，形成弥散分布的Al掺杂结构；步骤（6），向所述反应腔室中通入所述含氧前驱体，所述含氧前驱体与所述ZnO薄膜表面的含锌前驱体和含铝前驱体发生反应形成掺杂层；步骤（7），循环所述步骤（1）‑（6）m次，得到所需厚度的AZO薄膜。