一种暗场显微镜

摘要

本实用新型公开了一种暗场显微镜，包括由CMOS相机、光谱仪和CCD相机组成的两个成像系统，以及实现明场照明和小角度暗场照明的第一光路系统和实现大角度入射暗场照明的第二光路系统；其中第一光路系统包括主光轴垂直相交的子系统A和C，其中子系统A收集进入物镜的光并使进入物镜的光在CMOS相机上或光谱仪狭缝处成像，而子系统C提供光斑大小可调的均匀平行光；第二光路系统包括提供明暗可调、光斑大小可调的均匀平行光的子系统B，其主光轴与子系统A的主光轴成一定角度交于样品表面。该暗场显微镜可在保证样品位置不变的情况下分别实现大角度和小角度入射光激发纳米结构表面等离激元振动，并获得两种情况下的样品散射谱。

主权项

一种暗场显微镜，其特征在于，包括由CMOS相机(1)、光谱仪(2)和CCD相机(3)组成的两个成像系统，以及用于照明的两套光路系统，即：实现明场照明和小角度暗场照明的第一光路系统，和实现大角度入射暗场照明的第二光路系统；所述第一光路系统包括子系统A和子系统C，二者的主光轴垂直相交于第一分束镜(4)的中心位置，其中子系统A收集进入物镜(14)的光并使进入物镜(14)的光在CMOS相机(1)上或光谱仪(2)狭缝处成像，而子系统C提供光斑大小可调的均匀平行光，在第一分束镜(4)处被引入子系统A；所述第二光路系统包括提供明暗可调、光斑大小可调的均匀平行光的子系统B，其主光轴与子系统A的主光轴成一定角度交于样品表面。