微影装置及器件制造方法

主权项

一种经建构及配置以清洁一表面之雷射清洁器件(device)，该雷射清洁器件包含：一雷射源，其经建构及配置以产生辐射；一光学元件，其经建构及配置以将该辐射聚焦于一焦点中，以便在该表面上方之一背景气体中产生一清洁电浆；及一气体供应器，其经建构及配置以在该电浆附近之一部位处(location)产生一保护气体喷射流(jet of protection gas)，其中该保护气体系分别地由该背景气体提供且喷射在另一方向，该另一方向不同于该辐射所产生之方向。