薄板构件清洗装置

摘要

在该薄板构件清洗装置中，从流水板（520）的流水孔（520a）流下来的自来水与设在旋转支撑构件（540A）上的外侧旋转叶片（543）及内侧旋转叶片（544）接触，由此使支撑构件（540A）进行旋转。另外，流下到在网格构件保持部（545A）上保持的网格构件（160）上的自来水，基于由网格构件（160）的旋转产生的离心力而流过网格构件（160）的上表面及下表面，由此除去附着在网格构件（160）上的药液残渣。从网格构件（160）除去的药液残渣直接被自来水从流体排出用开口部（550a）排出至薄板构件清洗装置（500A）的外部。

主权项

一种薄板构件清洗装置，其特征在于，具有：框体，其包括流体注入用开口部和流体排出用开口部，所述流体注入用开口部用于注入流体；薄板构件保持部，其容纳在所述框体的内部，用于保持薄板构件，其中，所述薄板构件的表面是利用所述流体来清洗的；旋转支撑构件，其容纳在所述框体的内部，用于支撑所述薄板构件保持部，并且，该旋转支撑构件借助通过的所述流体来进行旋转，所述薄板构件是在金属的薄板构件上加工生成有多个微细孔的网格构件，所述旋转支撑构件以所述流体流下到所述薄板构件上的方式来保持所述薄板构件，并且，所述旋转支撑构件具有旋转叶片，所述旋转叶片借助流下到所述薄板构件上的所述流体通过来得到旋转力。