具有双面场板的晶体管元件及其制造方法

摘要

本发明公开一种具有双面场板的晶体管元件及其制造方法，该晶体管元件包括外延堆叠层、源极、漏极、栅极、第一场板以及第二场板。外延堆叠层具有第一表面与第二表面。源极、漏极与栅极位于外延堆叠层上，且栅极位于源极与漏极之间。第一场板位于外延堆叠层的第一表面的一侧，电性连接源极，且覆盖于栅极上方并延伸至栅极与漏极之间。第二场板位于外延堆叠层的第二表面的一侧，电性上述连接源极，且至少延伸覆盖栅极与漏极之间的外延堆叠层上方。

主权项

一种具有双面场板的晶体管元件，包括：外延堆叠层，包括第一表面、第二表面；源极、漏极以及栅极，位于该第一表面上，其中该栅极位于该源极与该漏极之间；第一场板，位于该第一表面的一侧，与该源极、该漏极以及该栅极不同平面，该第一场板电性连接该源极，覆盖该栅极并延伸至该栅极与该漏极之间；以及第二场板，位于该第二表面的一侧，电性连接该源极。