| 发明名称 | 基板清洁装置 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWM504259 | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | TW104206457 | 申请日期 | 2015.04.28 |
| 申请人 | 弘塑科技股份有限公司 | 发明人 | 吴欣贤;刘文明;陈薇云 |
| 分类号 | G03F1/22 | 主分类号 | G03F1/22 |
| 代理机构 | 代理人 | 康清敬 台北市大安区敦化南路2段77号19楼 | |
| 主权项 | 一种基板清洁装置，包括：一弹性柱体，系由一吸水材质制成，该弹性柱体之一端面上具有一注水孔，该注水孔用于将水导入该弹性柱体；一无尘布，固持于该弹性柱体之一柱面之两侧，且该无尘布部分接触该弹性柱体之该柱面，而于该柱面上形成该无尘布与一基板接触之条状区域；以及一移动机构，耦接于该弹性柱体及该无尘布，用于同时移动该弹性柱体及该无尘布，使得该条状区域在该基板上移动以擦拭该基板。 | ||
| 地址 | 新竹市香山区中华路6段89号 | ||