氧化物结晶薄膜的制造方法

主权项

一种氧化物结晶薄膜的制造方法，其具备：将使含有镓化合物和铟化合物中的至少一种和水的原料溶液进行微粒化而生成的原料微粒，通过载气供给至成膜室中，在配置在所述成膜室内的被成膜试样上形成氧化物结晶薄膜的步骤，所述镓化合物和铟化合物中的至少一种为溴化物或碘化物。