发明名称 用于系统单晶片(SoC)应用的垂直非平面半导体装置;VERTICAL NON-PLANAR SEMICONDUCTOR DEVICE FOR SYSTEM-ON-CHIP (SOC) APPLICATIONS
摘要 本发明说明了用于系统单晶片(SoC)应用的垂直非平面半导体装置及垂直非平面半导体装置的制造方法。例如,一半导体装置包含被配置在一基材之上的一半导体鳍,该半导体鳍具有一凹入部分及一最上方部分。一源极区被配置在该半导体鳍的该凹入部分中。一汲极区被配置在该半导体鳍的该最上方部分中。一闸极电极被配置在该源极区与该汲极区之间的该半导体鳍的该最上方部分之上。
申请公布号 TW201526121 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW103132986 申请日期 2014.09.24
申请人 英特尔股份有限公司 INTEL CORPORATION 发明人 简 嘉弘 JAN, CHIA-HONG;贺菲斯 瓦力德 HAFEZ, WALID M.;蔡 柯堤斯 TSAI, CURTIS;叶震亚 YEH, JENG YA D.;朴朱东 PARK, JOODONG
分类号 H01L21/36(2006.01) 主分类号 H01L21/36(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国 US