| 摘要 |
트랜스듀서 헤드들에 대한 판독기 구조물들을 제조하기 위한 톨러런스들은 지속해서 더 작아지고 있고 해당 저장 매체에서의 저장 밀도는 증가하고 있다. 판독기 구조물의 다른 비-보호 층들을 프로세싱하면서 판독기 구조물의 다양한 층들을 리세션(recession) 및/또는 스크래치들로부터 보호하기 위해 판독기 구조물들의 제조 동안 판독기 스톱층들이 이용될 수 있다. 예를 들어, 스톱층은 기계적 또는 화학적-기계적 연마 동안 매우 낮은 연마 속도(polish rate)를 가질 수 있다. 매우 낮은 연마 속도로 스톱층에 의해 보호되는 구조물이 실질적으로 영향을 받지 않지않는 동안 주변 영역들은 심각하게 연마될 수 있다. 다음 스톱층은 예를 들어, 기계적 또는 화학적-기계적 연마가 완료된 이후에, 에칭을 통해 제거될 수 있다. |
