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发明名称 NICHT-KORRODIERENDE ENTFERNUNGS-UND REINIGUNGSZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE69921350(T2) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 DE19996021350T 申请日期 1999.08.05
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 HONDA, KENJI;MOLIN, MARK;HANSEN, LYNNE
分类号 G03F7/42;C09D9/00;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;C11D17/00;C11D17/08;C23G5/02;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/308 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
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