４級アンモニウムヒドロキシド

摘要

表面から残留物を除去する方法であって、該表面に（ａ）本明細書中に定義されるような一般式（Ｉ）を有する４級アンモニウムヒドロキシド：【化１】；および（ｂ）実質的に水を含まない双極性非プロトン溶媒；を含む組成物を付与する工程；ならびに該表面から該残留物の少なくとも実質的な部分を除去する工程；を包含する、方法。