マイクロ波プラズマ化学気相成長装置

摘要

ダイヤモンドを成長させるための装置であって、該装置は、１つ又はそれ以上のチャンバを含み、各チャンバは、１つ又はそれ以上の他のチャンバと流体連通しており、各チャンバは、複数のダイヤモンドシードがその上に配置される基材ステージを支持する１つ又はそれ以上の基材ステージ組立体を該チャンバ内に含む。【選択図】図１