| 摘要 |
<p>본 발명은 MgO 세라믹스 기체에 전극을 매설한 정전 척에 있어서, 마이크로 크랙이나 휨의 발생을 억제하고 유전체층으로의 전극 재료의 확산을 방지하는 것을 목적으로 한다. 정전 척(10)은, 웨이퍼(W)를 배치할 수 있는 웨이퍼 배치면(12a)이 형성된 세라믹스 기체(12)에, 정전 전극(14)이 웨이퍼 배치면(12a)과 평행이 되도록 매설된 것이다. 세라믹스 기체(12)는, MgO 함량이 99 중량% 이상인 치밀한 세라믹스로 이루어진다. 정전 전극(14)은, 원반형의 전극이고, 예컨대 Ni, Co 및 Fe로 이루어지 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속으로 형성되어 있다. 이 정전 전극(14)은, 중심에 도전성의 태블릿(16)이 접속되어 있다. 이 태블릿(16)은, 세라믹스 기체(12)의 이면(12b)으로부터 태블릿(16)에 도달하도록 형성된 카운터보어홀(18)의 바닥면에 노출되고, 이 카운터보어홀(18)에 삽입된 Ni제의 급전 단자(20)와 접합되어 있다.</p> |
