发明名称 |
Halbleitervorrichtung |
摘要 |
Ein erster spiralförmiger Induktor (2) ist auf dem Halbleitersubstrat (1) vorgesehen. Ein dielektrischer Film (3) bedeckt den ersten spiralförmigen Induktor. Ein zweiter spiralförmiger Induktor (4) ist auf dem dielektrischen Film vorgesehen. Ein Verbindungsabschnitt (5) durchdringt den elektrischen Film und verbindet elektrisch den ersten inneren Endabschnitt mit dem zweiten inneren Endabschnitt. Eine Drehrichtung des ersten spiralförmigen Induktors vom ersten äußeren Endabschnitt in Richtung des ersten inneren Endabschnitts ist dieselbe wie eine Drehrichtung des zweiten spiralförmigen Induktors vom zweiten inneren Endabschnitt in Richtung des zweiten äußeren Endabschnitts. Ein zweiter Einstellungsdraht (4c) des zweiten spiralförmigen Induktors ist oberhalb eines ersten Einstellungsdrahts (2c) des ersten spiralförmigen Induktors über den dielektrischen Film vorgesehen. In anderen Teilen als dem ersten und dem zweiten Einstellungsdraht ist ein Draht des zweiten spiralförmigen Induktors in einer Draufsicht in einem Spalt zwischen Drähten des ersten spiralförmigen Induktors angeordnet. |
申请公布号 |
DE102014222768(A1) |
申请公布日期 |
2015.06.25 |
申请号 |
DE201410222768 |
申请日期 |
2014.11.07 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
TSUKAHARA, YOSHIHIRO;ISHIDA, TAKAO |
分类号 |
H01L27/08;H01L23/12;H01L49/02 |
主分类号 |
H01L27/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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