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<p>플라즈마 챔버용 냉각판 이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 플라즈마 챔버용 냉각판은 플라즈마 챔버에 설치된 캐소드 전극판과 밀착되고, 원주 방향을 따라 다수개의 마운팅 홀이 형성된 냉각판으로서, 상기 냉각판은 상기 마운팅 홀이 등 간격으로 배치된 등 간격 구간과, 상기 등 간격 구간과 이웃하여 마운팅 홀이 상이한 간격으로 배치된 비등간격 구간을 포함하고, 상기 냉각판의 중앙을 기준으로 동심원을 가지고 다수개가 개구된 가스 통과 홀을 포함한다.</p> |
