发明名称 | 固态图像拾取装置和图像拾取系统 | ||
摘要 | 本发明涉及固态图像拾取装置。所述装置包括:第一衬底,包括光电转换元件和被配置为从所述光电转换元件传输电荷的传输栅电极;第二衬底,具有外围电路部分,所述外围电路部分包括被配置为读取基于所述光电转换元件中产生的电荷的信号的电路;所述第一衬底和所述第二衬底被层叠。所述装置进一步包括布置在所述第一衬底上的包括铝互连的多层互连结构和布置在所述第二衬底上的包括铜互连的多层互连结构。 | ||
申请公布号 | CN102714212B | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
申请号 | CN201080058034.6 | 申请日期 | 2010.12.22 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 远藤信之;板野哲也;山崎和男;渡边杏平;市川武史 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李向英 |
主权项 | 一种固态图像拾取装置,包括:第一衬底,包括光电转换元件和被配置为从所述光电转换元件传输电荷的传输栅电极;第二衬底,具有外围电路部分,所述外围电路部分包括被配置为读取基于所述光电转换元件中产生的电荷的信号的电路,所述第一衬底和所述第二衬底被层叠;布置在所述第一衬底上的第一多层互连结构,所述第一多层互连结构包括第一互连层(122/222)和第二互连层(123/223),所述第一互连层被布置为比所述第二互连层更靠近第一衬底,并且所述第一互连层包括铝互连;以及布置在所述第二衬底上的第二多层互连结构,所述第二多层互连结构包括第三互连层(128/228)和第四互连层(129/229),所述第三互连层被布置为比所述第四互连层更靠近第二衬底,并且所述第三互连层包括铜互连。 | ||
地址 | 日本东京 |