一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置

摘要

本发明公开了一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，硅杯上部覆盖有硅膜片。与现有技术相比，本发明设计合理，结构简单，采用带有氧化层的硅膜片与连接有引线的硅杯作为压力芯片的密封与传导装置，既提高了压力传感器的密封效果，也有助于提高甘差un其检测数据的准确性和可靠性，有助于提高压力传感器的使用寿命。

主权项

一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，其特征在于：所述腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，所述高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，所述硅杯上部覆盖有硅膜片。