一种用于氢气传感器的镁合金薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于氢气传感器的镁合金薄膜及其制备方法，所述的镁合金薄膜包括由下至上依次设置的基片、镁合金薄膜材料层、催化层和保护层。该薄膜的制备包括：对基片进行表面清洁预处理；采用直流磁控溅射法在经步骤a)预处理后的基片上依次沉积镁合金薄膜材料层和催化层；采用旋涂法在步骤b)得到的催化层上涂覆保护层。由本发明获得的氢气传感器在常温下即可使用，且响应速度快、灵敏度高、响应的浓度范围广，可反复使用；尤其是，所得氢气传感器不仅对氢气具有传感性，对氢气的同位素气体也同样具有传感性；另外，所得传感器还具有成本低，实用范围广，既可以薄膜电阻值作为传感信号，又可以薄膜透光率值作为传感信号等优点。

主权项

一种用于氢气传感器的镁合金薄膜，其特征在于：包括由下至上依次设置的基片、镁合金薄膜材料层、催化层和保护层。