| 发明名称 | 带电粒子束装置 | ||
| 摘要 | 本发明是一种具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置的带电粒子束装置，具备：控制部、以及显示部，所述控制部在多个修正条件下针对利用所述缺陷观察装置取得的一张以上图像执行漂移修正处理，并使所述多个修正条件与执行了所述漂移修正处理的多个修正图像对应，作为第1画面显示在所述显示部中。 | ||
| 申请公布号 | CN104737280A | 申请公布日期 | 2015.06.24 |
| 申请号 | CN201380052989.4 | 申请日期 | 2013.10.11 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 平井大博;中垣亮;小原健二 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01J37/22(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 曾贤伟;郝庆芬 |
| 主权项 | 一种带电粒子束装置，其具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：控制部、以及显示部，所述控制部针对利用所述缺陷观察装置取得的一张以上的图像，以多个修正条件执行漂移修正处理，并将所述多个修正条件与执行了所述漂移修正处理的多个修正图像对应地在所述显示部中显示为第1画面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||