化学气相沉积制备正交相MoO₃单晶纳米片方法

摘要

本发明涉及化学气相沉积制备正交相MoO₃单晶纳米片方法。本发明对石英衬底清洗处理，先后放入丙酮、乙醇和去离子水中超声清洗，后用氮气吹干，取MoS₂粉末0.2-0.5g放入陶瓷舟里，将其放在管式炉石英管中，将石英衬底放置在装有原料的陶瓷舟的下风口，封闭管式炉，通氩气冲洗管式炉，清洗完毕后，通入氩气和氧气的混合气体，打开真空机械泵，开启管式炉升温程序，使温度上升，然后自然降温，待冷却至室温，取出样品，石英衬底上生长了白色产物，即为单晶MoO₃纳米片。本发明克服了湿化学剥离、微波法、水热法各自存在的缺陷。本发明扩展了α-MoO₃纳米晶的制备技术；合成工艺简单、易控，使用原料和设备单一、便宜，制备流程安全无毒，快速高效；所得样品产率高。

主权项

化学气相沉积制备正交相MoO₃单晶纳米片方法，其特征在于步骤如下：(1)对石英衬底进行表面清洗处理：先后放入丙酮、乙醇和去离子水中超声清洗，取出后用氮气吹干；(2)取MoS₂粉末0.2‑0.5g作为原料放入陶瓷舟里，将其放在管式炉石英管中，将清洗过的石英衬底放置在装有原料的陶瓷舟的下风口；(3)封闭管式炉，通氩气冲洗管式炉；(4)清洗完毕后，通入氩气和氧气的混合气体，打开真空机械泵；(5)开启管式炉升温程序，使温度上升，然后自然降温，待冷却至室温，取出样品，石英衬底上生长了白色产物，即为单晶MoO₃纳米片。