用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器

摘要

本实用新型公开了用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器，用DBAR表示，形成于衬底上，包括底部电极、顶部电极、第三电极、第一压电层、第二压电层、第一导线、第二导线和第三导线；底部电极形成于衬底上；第一压电层位于底部电极上方，由氮化铝压电材料制成；第三电极位于第一压电层上，由钨、钼或铝经过图案化成型而成；第二电压层位于第三电极上方，由氧化锌压电材料制成；顶部电极由钨、钼或铝图案化成型制成；DBAR上对应触点、第一导线、第二导线和第三导线分别对应地和底部电极、顶部电极和第三电极进行电性连接；第一压电层、第三电极、第二压电层和顶部电极图案化成型后形成DBAR。具有很强的实用性。

主权项

用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器，形成于衬底上，其特征是：包括底部电极、顶部电极、第三电极、第一压电层、第二压电层、第一导线、第二导线和第三导线；所述衬底蚀刻形成腔体，牺牲材料沉积在衬底上以填充腔体；所述底部电极形成于衬底上方，所述衬底上沉积钨、钼或铝图案化处理成型为一个多边形的底部电极；所述底部电极上沉积氮化铝压电材料以形成具有向上C轴取向的第一压电层；所述第三电极由沉积于第一压电层上的钨、钼或铝图案化处理后形成；所述第二压电层位于第三电极上方，第三电极上沉积有氧化锌压电材料以形成具有向上C轴取向的第二压电层；所述第一压电层的C轴取向和第二压电层的C轴取向相反；所述顶部电极位于第二压电层上方，第二电压层上沉积有钨、钼或铝以形成位于最上方的顶部电极；所述第一压电层、第三电极、第二压电层和顶部电极经图案化形成多层压电薄膜体声波谐振器；所述第一导线连接底部电极，第二导线连接顶部部电极，第三导线连接第三电极，第一导线和第二导线相互连接使底部电极和顶部相连通。