发明名称 |
一种金属电极制造装置 |
摘要 |
本实用新型提出了一种金属电极制造装置,装置包括由下至上依次设置的载片台(1)、盖板(4)和固定件(5),载片台(1)中心设有方形孔,金属掩膜罩(2)跨放在所述方形孔上;位于金属掩膜罩(2)上方的所述盖板(4)纵剖面为延长的倒置凹槽,其两端的凸块支撑在载片件上;硅片上设有芯片,芯片的发射极为厚金属电极,金属掩膜罩(2)依据芯片的发射极的形状制备。该金属电极制造装置,金属通过金属掩膜罩的窗口到达硅片表面,在指定的区域淀积形成厚金属电极,减少了一次光刻和一次金属刻蚀工艺,缩短了加工周期,降低了生成成本。 |
申请公布号 |
CN204424217U |
申请公布日期 |
2015.06.24 |
申请号 |
CN201420870469.6 |
申请日期 |
2014.12.31 |
申请人 |
国家电网公司;国网智能电网研究院;国网北京市电力公司 |
发明人 |
王耀华;赵哿;刘江;刘钺杨;高明超;金锐;温家良 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京安博达知识产权代理有限公司 11271 |
代理人 |
徐国文 |
主权项 |
一种金属电极制造装置,装置包括由下至上依次设置的载片台(1)、盖板(4)和固定件(5),其特征在于:所述载片台(1)中心设有方形孔,金属掩膜罩(2)跨放在所述方形孔上;位于金属掩膜罩(2)上方的所述盖板(4)纵剖面为延长的倒置凹槽,其两端的凸块支撑在所述载片件上;硅片上设有芯片,所述芯片包括元胞区、终端区和焊盘区;所述元胞区、终端区和焊盘区均包括N型衬底设置在N型衬底表面并行排列的场氧化层和栅氧化层、在场氧化层和栅氧化层的表面覆盖有多晶硅层、在所述多晶硅层的表面覆盖有层间介质ILD,在层间介质ILD的表面覆盖有金属电极所述金属电极包括沟槽形状的沟槽发射极,所述发射极为厚金属电极,所述金属掩膜罩(2)依据所述芯片的发射极的形状制备。 |
地址 |
100031 北京市西城区西长安街86号 |