晶圆固定装置和气相沉积装置

摘要

本实用新型提供了一种晶圆固定装置和气相沉积装置。所述晶圆固定装置包括圈体和晶圆吸盘，其中，晶圆吸盘上设置有至少四个对称分布的卡合部，圈体上设置有与所述卡合部相配合的卡合配合部。安装时，将圈体放置在晶圆吸盘上，并通过卡合部与卡合配合部的对齐卡接，将圈体和晶圆吸盘之间的相对位置固定，从而解决了现有晶圆固定装置中因圈体与晶圆吸盘的相对位置不固定，而发生圈体与晶圆吸盘卡住的问题。此外，所述气相沉积装置包括真空腔体和所述晶圆固定装置。在机台维护时，本实用新型可以减少产品损耗，降低使用成本，并可消除真空腔体内环境受到污染的隐患，而在机台运转时，又可以确保气相沉积制程的稳定性，进而提升产品质量。

主权项

一种晶圆固定装置，其特征在于：包括晶圆吸盘和圈体，所述晶圆吸盘上设置有至少四个对称分布的卡合部，所述圈体上设置有与所述卡合部相配合的卡合配合部。