一种生产电子级氟化铵水溶液的方法

摘要

本发明涉及一种生产电子级氟化铵水溶液的方法，以工业级液氨为原料，加热释放出氨气，所述氨气通过活性炭吸附除去有机气体杂质，然后脱氧吸附得到高纯氨气；所述高纯氨气用高纯氢氟酸吸收反应得到产品电子级氟化铵水溶液。所制得的电子级氟化铵水溶液纯度高，质量稳定，可直接应用于电子产品的生产，本发明生产电子级氟化铵水溶液的方法，操作简单，适于大规模连续化生产。

主权项

一种生产电子级氟化铵水溶液的方法，其特征在于，步骤如下：将工业级液氨加热至30～50℃产生氨气，使氨气通过活性炭吸附除去有机气体杂质，再进行吸附脱氧得到高纯氨气；所述高纯氨气用高纯氢氟酸吸收，制得氟化铵水溶液；所述高纯氢氟酸吸收高纯氨气过程中，高纯氨气从反应容器上端通入，氢氟酸从反应容器下端通入，并用所述高纯氢氟酸循环吸收所述高纯氨气；其中，所述工业级液氨浓度为75％～90％。