| 摘要 |
본 발명에 따른 가속도 센서는 제1 질량체 및 제2 질량체를 포함하는 질량체부와, 상기 제1 질량체와 상기 제2 질량체를 지지하는 프레임과, 상기 제1 질량체 및 제2 질량체를 상기 프레임에 각각 연결하는 제1 가요부와, 상기 제1 질량체 및 제2 질량체를 상기 프레임에 각각 연결하는 제2 가요부와, 상기 제2 가요부는 상기 제1 질량체 및 제2 질량체의 무게중심에 대하여 각각 이격되도록 상기 제1 질량체 및 제2 질량체에 연결되고, 본 발명의 일실시예에 따른 각속도 센서는 제1 질량체 및 제2 질량체를 포함하는 질량체부와, 상기 제1 질량체와 상기 제2 질량체를 지지하는 내부 프레임과, 상기 제1 질량체 및 제2 질량체를 상기 프레임에 각각 연결하는 제1 가요부와, 상기 제1 질량체 및 제2 질량체를 상기 프레임에 각각 연결하는 제2 가요부와, 상기 내부 프레임을 지지하는 외부 프레임과, 상기 내부 프레임과 상기 외부 프레임을 연결하는 제3 가요부와, 상기 내부 프레임과 상기 외부 프레임을 연결하는 제4 가요부를 포함하고, 상기 제1 질량체 및 제2 질량체는 상기 제2 가요부에 의해 편심되도록 상기 내부 프레임에 각각 연결된다. |
