电子束还原图案化金属的装置及其方法

主权项

一种电子束还原图案化金属的装置，系可在基板上直接产生金属图案，系包含：一电子束系统，可准直、聚焦与扫描电子束；一窗口薄膜，以薄膜支撑件设置于真空室底部以隔离真空，并做为电子束穿透窗口；一载台，置于该电子束穿透窗口方向，供置放一基板，该基板面向电子束；一液体薄层，含有金属离子的溶液，涂覆于该基板面向电子束方向表面，该液体薄层之厚度小于10μm。