使用铝烃化合物之金属碳化物膜的原子层沈积,申请号TW098112674-传众专利搜索

发明名称	使用铝烃化合物之金属碳化物膜的原子层沈积
摘要
申请公布号	TWI488990	申请公布日期	2015.06.21
申请号	TW098112674	申请日期	2009.04.16
申请人	ＡＳＭ美国股份有限公司	发明人	李　东;马库斯　史蒂芬;贺加　苏维Ｐ;林伟民
分类号	C23C16/32;H01L21/283	主分类号	C23C16/32
代理机构		代理人	詹铭文台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项	一种热原子层沈积制程，用以在一反应空间中于一基板上形成一金属碳化物膜，所述制程包括交替且循序地使所述基板接触金属卤化物与三乙铝的多个气相脉冲，以由所述金属卤化物与所述三乙铝之间的反应形成包括至少16%的铝的金属碳化物膜。
地址	美国