| 主权项 |
一种延长产生离子束之离子源的使用寿命的气体混合方法，包含：供应一掺质气体至一离子源腔室，其中该掺质气体系一含碳气体，用于产生含碳离子，该含碳气体至少包含CO2；供应一辅助气体至该离子源腔室，以稀释该掺质气体，进而延长离子源的使用寿命，其中该辅助气体是H2、CF4、Xe、Kr、Ar、PH3、AsH3、CH4其任意组合；以及以一混合比例，混合该掺质气体及该辅助气体成为一气体混合物，该气体混合物至少包含CO2、CF4及H2，并供应该气体混合物至该离子源腔室，以产生一离子束，其中该混合比例是一体积比例。 |
