发明名称 铜电镀浴及使用该铜电镀浴的电镀方法
摘要
申请公布号 TWI489013 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW099124546 申请日期 2010.07.26
申请人 上村工业股份有限公司 发明人 礒野敏久;大村直之;清水宏治;立花真司
分类号 C25D3/38 主分类号 C25D3/38
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种铜电镀浴,其特征系将水溶性铜盐、硫酸、及氯离子作为主要构成成分,且添加以下述式(1)【化1】[式(1)中之R1为下述式(2)或(3)【化2】所示,且R2为下述式(4)【化3】所示,l示为0以上之整数,m为1,n示为0以上之整数]所示之化合物而成。
地址 日本