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经营范围
发明名称
离子束线
摘要
申请公布号
TWI489515
申请公布日期
2015.06.21
申请号
TW102149222
申请日期
2013.12.31
申请人
日新离子机器股份有限公司
发明人
哈托 萨米;滨本成显;井合哲也
分类号
H01J37/317;H01J37/04
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
一种用以改变一带状离子束之能量的系统,包括:一校正装置,其配置成用以接收一带状离子束及调整该离子束沿着其纵向维度之电流密度剖面;至少一减速/加速元件,其定义一用以在该离子束通过时减速或加速该离子束之减速/加速区域;一聚焦透镜,其用以减少该离子束沿其横向维度之发散;以及一静电弯管,其配置在该减速/加速区域之下游侧,以造成该离子束之偏向。
地址
日本
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